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工具镀膜机
    发布时间: 2021-02-17 13:50    
工具镀膜机

    PVD1050-8型多弧离子镀膜机是专门为工具(功能)镀膜应用开发的计算机自动控制离子镀膜机,适用于切屑刃具、模具等镀膜生产,可获得更好的膜层质量和耐蚀性能等。

    设备可在450~500℃高温下长期稳定的运行

    配置离子源清洗,加装挡板,实现离子轰击清洗,辅助沉积

    配有步进电机驱动转架,实现精确定位,转架可拉出便于装卸工件

    配有φ155大弧源,特点:膜层组织细腻,颗粒小,先进的电磁扫描磁场,弧斑运动速度更快、实现高效溅射。

    4纵列弧源配置,可沉积2种不同材料膜系且膜层均匀。

    宽水道加强设计,超强刚性,炉体水冷效果好。





高端配置:
莱宝真空单级泵SV200
霍廷格脉冲偏压36KW
弧电源(IGBT模块)
莱宝高真空分子泵 MAG2200
VAT气动插板阀
英福康CDG045D薄膜规
德国BERKERT宝得气体质量流量计8711型
三菱FX系列PLC逻辑控制器及功能模块


 技术参数:

   真空室内尺寸:φ1050x1200
   极限真空度:5x10-4Pa
   空恢时间:大气抽到6.7x10-3Pa≤20min
   压升率:≤0.5Pa/h
   占地空间:L3.6×W3.3×H2.5m3
   装机容量:约180KW

   主要配置:

   弧源:φ155大弧源,8套
   离子源: 霍尔离子源或大功率弧光柱型离子源
   加热方式:盘管式加热器,分区加热
   工件架:下转架,行星公自转结构,采用交流伺服电机驱动
   控制方式:PLC/触摸屏控制
   脉冲偏压:40KW
   弧电源:200A

   主要膜层:TiN  ALTiN  TiAlSIN  TiCN 
                   AlCrN  CrN  DLC(选配)


   真空系统配置:

   高真空泵:F-3600分子泵
   预抽泵:RTO-300 罗茨泵
           2XT-70旋片泵