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PVD-DLC镀膜机
    发布时间: 2021-02-17 13:56    
PVD-DLC镀膜机  

  该设备具有操作方便,装载量大,工作周期短,生产率高等优点,适合工业化批量生产。






  技术参数:

     真空室尺寸:φ1000×1000

     极限真空度:6.7×10-5Pa

     空恢时间:大气抽到6.7×10-3Pa≤40min

     压升率:≤0.5Pa/h

     占地空间:L4×W3.1×H2.6m3

     装机容量:170KW


     主要配置:

     阴极溅射源:平面阴极

     离子源:阳极层离子源

     使用温度:100~200℃

     工件架:(1)可移出式复合转架,齿轮传动,配备装卸车
                  (2)固定转架


     真空室冷却方式:水套、水槽冷却

     控制方式:Q系列PLC,15寸触摸手动-自动控制系统。

     进气控制:4路(混气后分4路均匀供气)

     脉冲偏压:3000V,20KW

     主要膜层:DLC

     膜层特点:低摩擦系数,耐蚀性好,适用于Cu、Al、玻璃纤维等材料的加工

     真空系统配置:

     高真空泵:FF-3500分子泵

     预抽泵: RVP-25直联泵 
                 RTO-150罗茨泵  

     维持泵: RVP-18直联泵