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PVD-DLC镀膜机
    发布时间: 2021-02-17 13:56    
PVD-DLC镀膜机　　

　　该设备具有操作方便，装载量大，工作周期短，生产率高等优点，适合工业化批量生产。






  技术参数：

     真空室尺寸：φ1000×1000

     极限真空度：6.7×10-5Pa

     空恢时间：大气抽到6.7×10-3Pa≤40min

     压升率：≤0.5Pa/h

     占地空间：L4×W3.1×H2.6m3

     装机容量：170KW


     主要配置：

     阴极溅射源：平面阴极

     离子源：阳极层离子源

     使用温度：100~200℃

     工件架：（1）可移出式复合转架，齿轮传动，配备装卸车
                  （2）固定转架


     真空室冷却方式：水套、水槽冷却

     控制方式：Q系列PLC，15寸触摸手动-自动控制系统。

     进气控制：4路（混气后分4路均匀供气）

     脉冲偏压：3000V,20KW

     主要膜层：DLC

     膜层特点：低摩擦系数，耐蚀性好，适用于Cu、Al、玻璃纤维等材料的加工

     真空系统配置：

     高真空泵：FF-3500分子泵

     预抽泵： RVP-25直联泵 
                 RTO-150罗茨泵  

     维持泵： RVP-18直联泵