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装饰镀膜机
    发布时间: 2021-02-17 14:10    
装饰镀膜机

装饰镀镀膜机
采用AIP电弧离子镀和中频磁控溅射技术
磁控靶:同轴定向圆柱靶或平面靶
获得更高镀膜质量,更好的表面光洁度、膜层致密性、耐腐蚀性等




技术参数:
真空室内尺寸:φ1350x1500
                      φ1600x1350

极限真空度:5×10-4Pa

空恢时间:大气抽到6.7×10-3Pa≤20min

压升率:≤0.5Pa/h

占地空间:L3.9×W4.8×H2.5m3

装机容量:约300Kw


主要配置:

弧源:6/8/10/14套(φ95小弧源)

离子源:霍尔离子源(选配)

中频磁控阴极:4对(选配)

使用温度:200~350℃

工件架:行星公自转结构

真空室冷却方式:水套、水槽冷却

控制方式:PLC/触摸屏控制

进气控制:4路

脉冲偏压:40KW

弧电源:160/200A


真空系统配置:

高真空泵:F-3600分子泵   
               或 KT-600扩散泵

预抽泵: 2XT-70旋片泵   
              RTO-300罗茨泵   

维持泵:2XT-70旋片泵 或 2XT-30旋片泵 


公司所生产的真空镀膜机均采用触摸屏和PLC计算机自动控制系统。系统分为手动和自动两种控制方式,可随时任意切换。对设备的运行参数进行实时监控显示,保证了涂层质量的重复性。设备均设有完备的互锁保护和报警功能,控制系统存储器可储存多套工艺参数,免除了每次切换工艺,工艺人员都需要重新输入工艺参数的工作。