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防指印AF溅射镀膜机
    发布时间: 2021-02-17 14:17    
防指印AF溅射镀膜机

   AF高透防指印涂层适用于手机、平板电脑等触控产品，还适用于在电器、卫浴等塑胶和金属件的装饰和功能薄膜上加镀AF涂层，提高光滑度、易清洁性。

PVD-AF1600系列多功能镀膜机除配备有高透AF防指纹蒸发溅射系统、提高工件涂层附着力的中频离子清洗系统外，还配置了阴极电弧源及中频磁控溅射靶，以满足用户多种涂层的镀制需求。


技术参数：

真空室内尺寸：φ1600x1350

极限真空度：5×10-4Pa

空恢时间：大气抽到6.7×10-3Pa≤15min

压升率：≤0.5Pa/h

占地空间：L4.6×W3.9×H2.5m3

装机容量：约380Kw


主要配置：

AF防指纹蒸发系统：钼舟12~16个，可控硅控制

中频离子清洗：1套

弧源：12套（φ95小弧源）

中频磁控阴极：6对

使用温度：400℃

工件架：行星公自转结构

真空室冷却方式：水套冷却

控制方式：PLC/触摸屏控制

进气控制：3路

脉冲偏压：40KW

弧电源：160A

中频电源：30KW



真空系统配置：

深冷系统：1套

高真空泵：F-3600分子泵    3台

预抽泵： 2XT-70旋片泵    2台

RTO-300罗茨泵    2台

维持泵：2XT-70旋片泵    1台