性能特点：
1、在较宽的压力范围内有较大抽速，弥补扩散泵和机械泵在133~1.33Pa抽速小的缺陷；
2、启动快，能立即工作，对气体中含有灰尘和水蒸气不敏感；
3、两转子之间无接触摩擦，无需润滑，泵腔内无油。